成果簡(jiǎn)介：
高精度全自動(dòng)雙頭固晶機，采用面向雙工作頭優(yōu)化協(xié)同的高速圖像拾取、定位和處理技術(shù)，開(kāi)發(fā)出模板大小 達128×128,可完成一次定位時(shí)間7~10ms, 具有納秒級位置軌跡圖像捕獲功能系統，設計出輕量化高剛度高 性能真空電機旋轉擺臂結構，開(kāi)發(fā)出高剛度高穩定性的擺臂系統、恒溫點(diǎn)膠控制裝置、芯片支架的夾取裝置等。 軟件圍繞著(zhù)高速高精全自動(dòng)固晶機，提供一種集操作、設置、查詢(xún)于一體的低耦合操控系統。
關(guān)鍵技術(shù)包括：
(1)多運動(dòng)軸下的高精度協(xié)同控制技術(shù)(控制精度達0.1um);
(2)基于圖像識別技術(shù)的高效率和高精度芯片定位。
