鑒于光學(xué)顯微鏡景深有限，不能測量和三維實(shí)時(shí)顯示高度差超過(guò)光學(xué)景深的復雜三維結構物體，如微機電器件（MEMS）、生物組織結構等。本成果基于利用光學(xué)變焦原理，通過(guò)移動(dòng)顯微物鏡的焦點(diǎn)位置，拍攝由模糊到清晰再到模糊的二維圖像序列，通過(guò)聚焦評價(jià)和圖像處理合成技術(shù)，擴展顯微鏡的景深，得到超大景深的三維立體圖像，實(shí)現超大景深三維彩色實(shí)時(shí)顯示和大深寬比微納結構三維形貌的測量，主要技術(shù)指標如下：
（1） 最大測量景深可達：23mm,
（2） 三維測量分辨率：100nm
（3） 物鏡光學(xué)倍率可調：0.5x-100x
（4）三維真彩色顯示、三維數據建模與可視化
